半导体与薄膜材料

Si、SiGe、GaN、AlN、SiC、III-V 半导体、High-k 薄膜、金属薄膜、介质膜、多层膜、先进封装材料。

外延层晶格失配、应变状态、薄膜取向、织构、晶体质量、摇摆曲线 FWHM、XRR 膜厚/密度/粗糙度分析。